SD-OCT 측정기
Spectral Domain Optical Coherence Tomography(SD-OCT) 원리를 적용한 고정밀 비접촉 측정 시스템입니다. FFT 기반 반사율 스펙트럼 분석으로 박막 두께, 표면 형상, 홀 직경·균열을 실시간 검출합니다. TGV(유리 관통 비아) 및 TSV(실리콘 관통 비아) 검사에 검증 완료되었습니다.
Octis 850 SCAN System
시스템 구성
760–940 nm 파장대 SLED 광원 기반의 스캔형 SD-OCT 시스템입니다.
5MP 통합 카메라와 405 nm 레이저를 내장하여 샘플 프리뷰, ROI 설정, 홀 직경 측정을 하나의 시스템에서 수행합니다.
Octis 850 SCAN System - 전동 XY 스테이지 + 측정 헤드 + 통합 카메라 구성
Octis 850 측정 헤드 - 7 µm 소형 스팟, 405 nm 레이저 내장
측정 원리
SLED 광원에서 출사된 광대역 빛이 빔스플리터를 통해 기준암(Reference arm)과 샘플암(Sample arm)으로 분리됩니다. 샘플 반사광과 기준광이 간섭하여 생성된 스펙트럼을 FFT 처리하면 각 층의 깊이 정보가 Peak으로 나타납니다.
SD-OCT 측정 원리 - 반사율 스펙트럼 수집 → FFT 분석 → 두께·표면 형상 산출
주요 특징
7 µm 소형 스팟
TGV/TSV 미세 구조 측정 가능
정확도 0.2 µm / 반복도 0.013 µm
고정밀 두께 및 표면 형상
5MP 통합 카메라
샘플 프리뷰, ROI 설정, 홀 직경 추정
405 nm 레이저
회절 기반 홀 직경·이심률 정밀 측정
100×100 mm 전동 XY 스테이지
자동 스캔
비접촉·비파괴
생산 라인 통합 가능
소프트웨어 화면 - TGV 측정
Octis 소프트웨어 — 반사율 스펙트럼 + FFT Peak + 두께·홀 직경 결과 테이블
소프트웨어 화면 - TSV 측정
TSV 간섭 신호 측정 — 비변조(홀 없음) vs 변조(TSV 홀 검출) 비교, Blind hole 깊이 측정
향후 개발 계획
1550 nm 파장 확장
(동일 하드웨어, 다른 동작 파장)
XY 스캔 결과 2D 맵핑 시각화 고도화
레이저 회절 측정 레시피 자동화
주요 사양
항목 | 사양 |
|---|---|
측정 원리 | SD-OCT (Spectral Domain OCT) + FFT 분석 |
광원 파장 | 760 – 940 nm (SLED) |
측정 스팟 | 7 µm |
두께 측정 범위 | 3 – 180 µm |
표면 형상 범위 | 최대 180 µm |
정확도 | 0.2 µm |
반복도 | 0.013 µm |
XY 스테이지 | 100 × 100 mm (전동) |
통합 카메라 | 5MP, 텔레센트릭 렌즈, 2448×2048 px, WD 108 mm |
카메라 파장 | 400 – 1100 nm |
내장 레이저 | 405 nm (홀 직경·이심률 측정) |
시스템 크기 | 250 × 700 × 700 mm |
적용 샘플 | TGV (유리 관통), TSV (실리콘 관통), 다층 박막 |
인터페이스 | Ethernet / PLC 연동 |
전원 | 100 – 240 VAC, 50/60 Hz |