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디스플레이 / OLED
Å 단위의 유기막 코팅 두께 측정
샘플명
Glass 위의 Å 단위 유기막(NPB) 코팅
측정 목적
1,000~1,500Å 두께의 유기막(NPB) 물질에 대한 굴절률을 확인하고, 굴절률을 이용하여 코팅의 실제 두께를 확인
장비명
Xelas Off-line, In-line
주요 Spec
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파장범위: 250~800nm
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Spot size: 0.3~1.0mm
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측정입사각: 0°
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샘플위치 정확도: 높이 ± 2mm 이내, 기울기 ± 0.6° 이내
주요 기능
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nm 급의 박막 코팅 두께 측정에 특화
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빠른 측정시간과 측정 헤드의 다양한 설계 가능으로 공간효율성이 높아 양산 라인의 In-Situ 측정 적용에 최적화
측정 과정
01
샘플 정보 확인
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구조 정보
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물성 정보
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두께 정보
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기타
02
광학상수(n&k) 구하기
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Layer 별 반사율(R), 투과율(T), 스펙트럼 특정
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모델링 Tool을 이용하여 광학상수(n&k) 산출
03
Layer 두께 측정
모델링에서 구한 광학상수(n&k)와 측정된 반사도를 이용하여 두께 측정
NXT의 독자적인 Optical modeling을 이용하여 물질의 광학상수(n&k) 산출
샘플 1의 100회 연속 측정 결과
샘플 2의 100회 연속 측정 결과
샘플의 동일포인트를 100회 연속 측정한 결과, 샘플 1과 샘플 2 모두 두께 편차와 3σ
값이 < 1Å 로 측정되어 제품 사양에 부합하는 결과를 확인
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