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OLED / 반도체

DUV (Deep UV)

Deep UV

대상 제품

OLED 디스플레이 극박막 유기층 (2 nm 이하 포함)

적용 사례

기존 300~800 nm 파장을 250~800 nm로 확장하여 OLED 유기층의 극박막 두께 측정 정밀도를 향상시킨 시스템입니다. 파장이 짧을수록 간섭 패턴의 공간 주기가 짧아져 얇은 박막의 두께 변화를 더 높은 분해능으로 감지합니다. 국내 주요 디스플레이 제조사에 적용되어 있습니다.

장비명

XELAS INLINE (DUV 확장 구성)

주요 Spec

  • 파장 범위: 250~800 nm

  • 측정 입사각: 0°

주요 기능

  • 2 nm 이하 OLED 극박막 두께 측정

  • 300 nm 이하 파장 노이즈 레벨 대폭 개선

  • 인라인 적용

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