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디스플레이 / OLED
OLED Display

대상 제품
Å 단위의 유기막 코팅된 OLED 디스플레이 패널
적용 사례
유기막 두께는 장치의 성능, 효율성, 색상 정확도 및 수명을 결정하는 중요한 역할을 합니다. 균일한 막두께는 OLED 품질에 매우 중요합니다. 챔버 내부 또는 외부에 NXT 장비를 설치하여 증착된 유기물질을 전수검사하여, 실시간으로 모니터링으로 공정 품질을 관리합니다.
장비명
Xelas INLINE
주요 Spec
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파장범위: 250~800nm
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Spot size: 0.3~1.0mm
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측정 입사각: 0°
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샘플위치 정확도: 높이 ± 2mm 이내, 기울기 ± 0.6° 이내
주요 기능
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Å 급의 박막 코팅 두께 측정에 특화
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측정 환경과 조건을 고려하여 맞춤형 장치 구성 가능
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빠른 측정시간과 측정 헤드의 다양한 설계 가능으로 공간효율성이 높아 양산 라인의 In-Situ 측정 적용에 최적화

Xelas INLINE
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Inline 장비 구성 예

유기막 두께 측정 화면

유기막 두께 측정 화면
NXT 두께 측정기의 다른 특징이 있나요?
01
컴팩트한 하드웨어 구성으로 챔버 내 설치가 가능합니다.
02
측정 시편의 높이, 기울기에 대한 Tolerance가 커서 Inline 적용성이 우수합니다.
03
측정 목적/환경에 따라 다채널 구성이 가능합니다.
04
Offline용 하드웨어 및 소프트웨어는 Inline용과 완벽한 호환이 가능하여 도입 TEST 단계부터 동일 사양 측정이 가능합니다.
05
국내외 Display 제조사에 설치되어 사용중인 검증된 두께 측정기입니다.
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