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태양전지 / 페로브스카이트
페로브스카이트

대상 제품
페로브스카이트 단일접합 및 탠덤 (Perovskite/Silicon) 태양전지
적용 사례
페로브스카이트 광활성층(ABX₃ 구조)의 두께와 광학상수(n, k)를 공정 중 실시간으로 측정합니다. 스핀 코팅, 슬롯 다이 코팅, Roll-to-Roll 등 주요 공정 방식에 적용되며, 챔버 Viewport를 통해 소결 중 굴절률 변화로 결정화 진행 상태를 감지합니다. PL(광발광) 측정을 병행하면 결정화 품질과 결함 분포를 비파괴로 확인할 수 있습니다. 탠덤 셀에서는 페로브스카이트 상부 셀과 실리콘 하부 셀의 두께를 각각 측정합니다.
장비명
XELAS INLINE / PL 측정기
주요 Spec
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두께 범위: 2 nm~3 μm
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측정 속도: 0.2초/층 이하
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높이 허용: ±2 mm, 기울기: ±0.6°
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PL 여기 파장: 405 nm
주요 기능
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광활성층 두께·굴절률 실시간 측정
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소결 중 챔버 내부 In-situ 모니터링
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PL 측정으로 결정화 품질 비파괴 스크리닝
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탠덤 셀 서브셀 두께 개별 측정

두께 측정 화면
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