Ellipsometer

편광된 빛의 반사 전후 상태 변화를 분석하여 박막의 두께와 광학상수(n, k)를 비접촉·비파괴로 측정합니다. NXT Ellipsometer는 인라인 공정 환경에 최적화된 구성으로 제공됩니다.

주요 특징

단일 측정으로 박막 두께(nm 수준)와 굴절률(n), 소광계수(k)를 동시에 산출합니다.

Pixelated Polarizer 기반 카메라를 활용하여 빠른 실시간 측정과 360° 두께 분포 확인이 가능합니다.

샘플에 물리적 접촉 없이 측정하여 소재 손상이 없으며, 이동 중인 기판에도 적용 가능합니다.

고속 생산 라인에서도 실시간 측정이 가능하도록 설계되었습니다.

Tunneling Oxide, AlOx layer, 페로브스카이트 층 두께 및 광학상수 측정.

전자 주입층, 정공 주입층 등 유기막 두께·n&k 인라인 측정.

포토레지스트, In-situ 성장률 모니터링.

Al·Cu 박막 전극, 박막 배터리 광학 특성 측정.

PET병 내부 SiO₂ 코팅(~30 nm) 실시간 측정. 14개/초 대응.

단백질 흡착층 두께 및 굴절률 측정.