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광간섭 분광법(Reflectometry) 기반 인라인 시스템의 측정 가능 여부는 소재의 광학적 특성(굴절률, 투명도)에 따라 결정됩니다.
측정 가능 소재:
세라믹 코팅 분리막(Al₂O₃, BaTiO₃): 반투명 소재로 Wet 및 Dry 상태 모두 측정 가능합니다. 코팅 두께 수백 nm~수 μm 범위 측정이 가능합니다.
투명·반투명 기능성 코팅: 빛이 일부 투과하는 소재에 한하여 측정 가능합니다.
측정 불가 소재:
양극재(NCM, LFP, NCA), 음극재(흑연계): 카본블랙이 포함된 불투명 소재로 Wet·Dry 상태 모두 빛이 투과하지 못하므로 광간섭 분광법으로 측정할 수 없습니다.
오프라인에서 소재별 광학 모델(n&k 파라미터)을 수립하면 인라인 측정의 정확도가 높아지며, 동일한 레시피를 인라인 시스템에 그대로 적용할 수 있어 초기 셋업 시간이 단축됩니다.
기재 진동과 높이 변동은 인라인 광학 측정의 주요 환경 변수이며, 광간섭 분광기는 하드웨어 관용 설계와 광학 보정 알고리즘을 통해 이에 대응합니다.
Reference 보정 메커니즘: 측정 채널과 동기화된 기준 신호 프로세싱을 통해, 고속 주행 시 발생하는 거리 변동 및 그로 인한 광량 변화를 실시간으로 보정합니다.
하드웨어 관용성(High Tolerance): 인라인 헤드의 광학적 관용 설계를 통해 공정 중 발생하는 일정 수준의 높이 편차 및 미세 기울기 변동 조건에서도 신호 왜곡을 최소화합니다.
기재 진동과 높이 변동이 허용 범위(높이 ±2mm, 기울기 ±0.6°) 안에 있으면 별도의 거리 제어 장치 없이 안정적인 측정값이 유지됩니다.
레이저 변위 센서와 광간섭 분광기는 두께를 산출하는 원리와 물리적인 측정 대상에서 차이가 있습니다.
레이저 변위 센서: 기재 표면까지의 거리를 측정하여 코팅 전후의 물리적 높이 차이를 통해 두께를 간접 산출합니다. 단일 레이저 파장을 사용하므로 투명 코팅층 단독 측정이 불가능하며, 코팅층 자체와 하부 기재(집전체)를 광학적으로 구분하지 못합니다.
광간섭 분광기(Reflectometry): 분광 광원을 조사하여 코팅층 상·하부 계면에서 반사되는 빛의 위상차와 간섭 스펙트럼을 분석해 코팅층 자체의 두께를 직접 산출합니다.
광간섭 분광기는 200ms 수준의 초고속 사이클로 실시간 두께 데이터를 출력합니다. 레이저 변위 센서로는 분리가 불가능한 다층막(코팅층 + 배리어층 + 집전체) 구조에서 개별 박막층의 두께만을 정확하게 선택적 해석할 수 있다는 점이 물리적 차이점입니다.
분리막 양면 코팅(예: 세라믹 코팅 분리막)의 동시 측정은 광간섭 분광법 기반 다채널 구성으로 가능합니다.
한 면씩 측정하는 단채널 구성과 달리, 양면에 각각 배치하는 다채널 구성을 사용하면 이동 중인 분리막의 양면 두께를 동시에 측정합니다. 채널 간 전환 시간은 1초 이하입니다.
세라믹 코팅층(Al₂O₃, BaTiO₃)의 측정 범위는 수백 nm~수 μm. 기재(PE, PP)와 코팅층을 광학적으로 구분합니다.
전극 슬러리(양극재 NCM/LFP, 음극재 흑연 등)는 카본 블랙이 포함된 불투명 슬러리입니다. Wet·Dry 상태 모두 빛이 투과하지 못하므로 광간섭 분광법으로 전극 코팅 두께를 측정하는 것은 불가합니다.
Wet 상태 두께 측정이 가능한 소재: 세라믹 코팅 분리막(Al₂O₃ 등 반투명 슬러리), 투명·반투명 기능성 코팅 등 빛이 일부 투과하는 소재에 한합니다.
Wet-to-Dry 수축률 확인이 필요한 경우, 건조 전후 두 지점에 측정 헤드를 배치하여 건조 후 두께를 기준으로 수축률을 간접 추산하는 방식이 사용됩니다.
파우치 셀 외부에서 내부 전극 스택을 직접 측정하는 것은 파우치 필름의 불투명성으로 인해 광학 방식으로는 불가합니다.
가능한 대안은 두 가지입니다.
첫째, 조립 전 전극 단계에서 인라인으로 두께를 측정하고 데이터를 기록하는 방식입니다.
둘째, 조립 후 파우치 두께 변화(스웰링)를 NIR 파장이나 레이저 변위 방식으로 간접 모니터링하는 방식입니다.
전극 단계 인라인 측정의 두께 정확도는 ±0.1 μm(1~30 μm 범위)로, 코팅 직후 품질 관리에 가장 실효성이 있습니다.
광간섭 분광법은 코팅층 상·하부 계면의 빛 간섭으로 두께를 산출합니다. 코팅층이 충분히 불투명하면(빛이 집전체까지 투과하지 않으면) 집전체 두께는 측정 결과에 영향을 주지 않습니다.
단, 코팅층이 매우 얇거나(수십 nm 수준) 반투명한 경우, 빛이 집전체(Cu 또는 Al)까지 도달하여 집전체 표면에서 반사된 신호가 섞입니다. 이 경우 광학 모델에 집전체의 n&k 파라미터를 포함시켜야 정확한 코팅층 두께를 산출할 수 있습니다.
일반 전극 코팅(수 μm 이상 두께): 집전체 영향 없음.
극박막 코팅(수십~수백 nm): 집전체 n&k 모델 반영 필요. Cu 호일의 경우 가시광에서 강한 흡수가 있어 파장 선택이 중요합니다.
Al 집전체는 NIR 파장에서도 반사가 강하므로, 양극재 코팅의 경우 코팅층이 충분히 두꺼우면 집전체 영향이 최소화됩니다.
슬러리 코팅 후 건조(Drying) 공정 중 수분 증발에 따른 두께 변화는 광간섭 분광법으로 실시간 추적이 가능합니다.
건조 챔버 내부에 뷰포트를 설치하고 외부에서 측정하는 구성을 사용할 수 있습니다. 건조 중 코팅층의 굴절률(n)도 함께 변화하므로, 두께와 굴절률을 동시에 추적하면 건조 완료 시점을 더 정확하게 감지할 수 있습니다.
측정 파장은 건조 온도(일반적으로 80~150°C)에서의 복사열 배경 신호를 고려하여 선택합니다. 측정 스팟 크기 ~1~5 mm, 측정 사이클 200 ms 이하.
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