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태양전지 / Solar Cell

솔라셀

솔라셀

대상 제품

실리콘 태양전지 Wafer SiN 반사방지 코팅

적용 사례

Silicon Wafer의 SiN 반사방지 코팅 두께와 굴절률을 인라인 전수 검사합니다. mc-wafer(다결정), pc-wafer(단결정), 텍스처 처리 표면 모두 대응하며, Wafer 표면 피라미드 텍스처 구조 분석도 지원합니다. CIS/CIGS, CdTe 등 박막 태양전지 소재에도 적용됩니다.

장비명

HELIOS System

주요 Spec

  • SiN 두께 범위: 45~120 nm

  • 굴절률 범위: 1.90~2.35

  • 측정 속도: 0.5초/점 이하

  • 굴절률 정확도: ±0.02

주요 기능

  • SiN 코팅 두께·굴절률·색상 동시 측정

  • mc/pc-wafer 및 텍스처 처리 표면 대응

  • 인라인 전수 검사 속도 충족

  • Wafer 표면 텍스처 구조 분석 (HELIOS-tex)

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