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연구기관 / 기타
Laser Detector 카드의 표면 반사율
샘플명
Laser Detector 카드
측정 목적
연구실에서 사용중인 레이저 정렬용 도구인 Detector Card의 위치별 측정을 통해 반사율을 확인
장비명
Xelas SCAN
주요 Spec
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파장범위: 320~800nm
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Spot size: < 1 mm
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측정 입사각: 0°
주요 기능
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반사율, 투과율 동시 측정 가능
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연구 및 개발 목적의 Offline 용으로 측정 스테이지 Customizing 구성 가능
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측정 지점 X,Y 맵핑 기능 탑재
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카메라가 내장되어 있어 샘플표면, TEG 위치 등 육안 확인 가능
측정 과정
측정스테이지 위에 샘플을 올려놓은 후 장비에 내장된 카메라를 통해 측정부위의 오염, 스크래치 등 표면상태를 확인
Laser Detector 카드는 반사를 최소화하여 레이저 빛의 흡수를 최대화하도록 설계, 레이저 빔 강도, 전력, 정렬을 측정하거나 모니터링 용도로 사용되며 일반적으로 5% 미만의 반사율을 보임(재료, 코팅 및 목적에 따라 달라질 수 있음)
샘플 1, 샘플 2, 샘플 3은 반사율 측정 결과 5% 미만 확인
샘플 1
샘플 2
샘플 3
샘플 4는 카드 겉면의 코팅에 의해 반사율이 5% 이상으로 측정
샘플 4
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